توسعه صنعت روز

دستگاه اسپین کوتینگ دستگاه اسپری پایرولیزیز لایه نشانی به روش بخار شیمیایی موسسه تحقیقاتی و خدمات فن آوری توسعه صنعت روز طراحی و ساخت انواع دستگاه های لایه نشانی به روش های مختلف شیمیایی موسسه تحقیقاتی و خدمات فن آوری توسعه صنعت روز از سال 1383 فعالیت های تحقیقاتی خود را در زمینه طراحی و ساخت انواع دستگاه های لایه نشانی به روش های مختلف شیمیایی و بااستفاده از محلول های شیمیایی آغاز نموده است. تاکنون چندین دستگاه لایه نشانی به روش های مختلف شیمیایی در مراکز تحقیقاتی و دانشگاهی نصب، راه اندازی و مورد بهره برداری قرار گرفته، که بیشتر در زمینه نانو مواد و تهیه نانو ساختارها و کاربردهای آنها به کار رفته اند. همچنین این دستگاه ها دارای تنظیمات و قابلیت های کنترلی بالا بوده که کنترل پارامترهای لایه نشانی را امکان پذیر می کند و دارای گواهی تائید از مراکز دانشگاهی می باشند. اسپین کوتینگ ( Spin Coating ) : این دستگاه برای تهیه لایه های نازک آلی، پلیمر و نانو ساختارها به روش سل، ژل چرخشی، ساخته شده که محفظه اصلی آن از جنس استنلس استیل می باشدو قابلیت نگهداری قطعه کار به وسیله خلاء تا قطر 100 میلیمتر را دارد. همچنین دارای گیج نمایشگر برای نمایش وکیوم قطعه کار روی شفت موتور، تایمر و کنترل سرعت چرخش ( تا 7000 دور بر دقیقه ) می باشد. از این سیستم لایه نشانی نیز بسیاری از تحقیقات نانوتکنولوژی برای تهیه نانو ساختارها استفاده می شود. به طور مثال : برای ساخت فیلترهای اپتیکی، سلول های خورشیدی، سنسورها، آشکارسازها، کارهای تزئیناتی، تهیه لایه های سخت و پوشش های مغناطیسی، تهیه لایه نازک دی الکتریک و میکرولیتوگرافی با فتورزیست برای تهیه ماسک های اپتیکی. لایه نشانی به روش بخار شیمیایی ( Chemical Vapor Deposition ) : این دستگاه برای تهیه و ساخت لایه های نازک، نانوتیوپ ها و نانو ساختارها به روش بخار شیمیایی ساخته شده که راکتور اصلی آن را از جنس کوارتز و کوره آن دارای سه منطقه حرارتی که هر منطقه دارای یک کنترلر دمای جداگانه می باشد و امکان ورود سه نوع گاز مختلف به طور همزمان به داخل راکتور با فلوء کنترل شده را دارد. در این دستگاه امکان افزایش دما تا 900 درجه سانتی گراد در حین لایه نشانی وجود دارد. کاربرد مهم آن در تهیه نانولوله های کربنی و نانو میله های و نانو ساختارهای نیمه رسانا است. اسپری پایرولیزیز ( Spary Pyrolysis ) : این دستگاه برای ساخت و تهیه لایه های نازک و نانوساختارها در دمای بالا ساخته شده است که پایداری و استحکام لایه های آن نسبت به روش ها فیزیکی در خلاً بیشتر می باشد. لازم به ذکر است این دستگاه با توجه به تکنولوژی ساده تر نسبت به روش های فیزیکی در خلاء بسیار ارزان قیمت بوده و امکان لایه نشانی در سطوح بزرگتر را نیز دارد.. به طور مثال : برای ساخت فیلترهای اپتیکی، سلول های خورشیدی، سنسورها، آشکارسازها، کارهای تزئیناتی، تهیه لایه های سخت و پوشش های مغناطیسی و...